广州：中微公司华南总部研发及生产基地一期封顶

近日，位于广州增城经济技术开发区的中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段，向着既定建成投产目标稳步推进。

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩，整体规划总投资 30 亿元。本次封顶的一期项目占地约 50 亩，投资约 10 亿元，集研发、测试、装配功能于一体。基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、PECVD 等微观加工设备研发制造，并持续拓展智能玻璃、板级封装等新兴泛半导体装备赛道。